题名:
电子束扫描曝光技术
Dian Zi Shu Sao Miao Pu Guang Ji / 吴克华编 ,
ISBN:
7- 价格： CNY3.35
语种:
chi
载体形态:
424页 32开
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
宇航出版社
出版日期： 1985
中图分类法:
TN14 版次： 4
主要责任者:
吴克华
编
索书号:
TN14/1