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题名:
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国外集成电路光刻制版自动化 Guo Wai Ji Cheng Dian Lu Guang Ke Zhi Ban Zi Dong Hua / 上海科学技术情报研究所 编 , |
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ISBN:
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7- 价格： CNY0.60 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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68页 32开 |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海科学技术出版社 出版日期： 1977 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 4 |
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主要责任者:
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上海科学技术情报研究所 编 |
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索书号:
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TN4/16 |