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题名:
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薄膜材料与薄膜技术 bo mo cai liao yu bo mo ji shu / 郑伟涛等编著 , |
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ISBN:
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7-5025-4938-2 价格： CNY38.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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313页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2003.11 |
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内容提要:
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本书阐述薄膜材料与薄膜技术的基本理论和基本知识，重点介绍薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学和物理沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征，对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行介绍、评论和展望。 |
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主题词:
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薄膜 工程材料 |
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主题词:
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薄膜技术 |
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中图分类法:
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TB383 版次： 4 |
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中图分类法:
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TQ320.7 版次： 4 |
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主要责任者:
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郑伟涛 zheng wei tao 编著 |
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索书号:
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TQ320.7/6 |