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题名:
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晶圆制造自动化物料运输系统调度 [ 专著] jing yuan zhi zao zi dong hua wu liao yun shu xi tong diao du / 张洁，秦威，吴立辉著 , |
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ISBN:
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978-7-5680-0902-7 价格： CNY88.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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263页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 武汉 出版社： 华中科技大学出版社 出版日期： 2015 |
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内容提要:
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本书针对自动化物料运输系统（AMHS）调度问题大规模、随机性、实时性和多目标的特点，在系统、深入地进行AMHS建模方法和运行过程分析的基础上，分别介绍了AMHS中的Interbay系统和Intrabay系统的优化调度方法，介绍了AMHS集成调度和AMHS调度性能评价方法。 |
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主题词:
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半导体工艺 自动化系统 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 5 |
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主要责任者:
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张洁 zhang jie 著 |
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主要责任者:
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秦威 qin wei 著 |
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主要责任者:
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吴立辉 wu li hui 著 |
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附注:
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国家科学技术学术著作出版基金资助 “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
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责任者附注:
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张洁，女，上海交通大学教授、博士研究生导师，长期致力于将先进制造技术与先进管理理念和IT技术密切结合的课题研究与开发，并在智能制造系统与大数据技术等方面进行了深入研究并取得了丰硕的成果。主持与参加了国家自然科学基金重点项目和面上项目、国家高技术研究发展计划(863计划)项目、国家科技重大专项等20多个项目，出版专著5部，发表论文多篇(其中被SCI收录20余篇，被EI收录40余篇，被ISTP收录10余篇)，获得国家发明专利授权7项。 |
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索书号:
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TN305/1 |