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题名:
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原子层沉积技术 yuan zi ceng chen ji ji shu / 李爱东编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-048375-1 价格： CNY98.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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381页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书共13章,前5章主要介绍原子层沉积技术的发展历史、原子层沉积原理等基础内容;第6-7章侧重介绍等离子体增强原子层沉积和分子层沉积新方法;第8-13章涉及了原子层沉积在微电子、纳米技术、光学、能源等领域的应用。 |
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主题词:
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原子 沉积 |
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中图分类法:
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TB3 版次： 5 |
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主要责任者:
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李爱东 li ai dong 编著 |
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索书号:
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TB3/1 |