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题名:
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微机电系统基础 wei ji dian xi tong ji chu / (美)盖德(Mohamed Gad-el-Hak)主编 , 赵永梅，段瑞飞，李安译 |
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ISBN:
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978-7-111-55733-3 价格： CNY169.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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13,394页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2017 |
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内容提要:
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本书是MEMS手册中的基础部分，提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑等，还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 5 |
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主要责任者:
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盖德 gai de 主编 |
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次要责任者:
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赵永梅 zhao yong mei 译 |
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次要责任者:
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段瑞飞 duan rui fei 译 |
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次要责任者:
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李安 li an 译 |
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索书号:
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TM38/2 |