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题名:
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等离子体放电与材料工艺原理 deng li zi ti fang dian yu cai liao gong yi yuan li / (美)Michael A. Lieberman，(美)Allan J. Lichtenberg著 , 蒲以康等译 |
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ISBN:
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978-7-121-28022-1 价格： CNY128.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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28,536页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2018 |
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内容提要:
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本书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、等离子体与表面的相互作用、等离子体诊断、电负性等离子体、脉冲等离子体、容性和感性放电、高频及双频放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。 |
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主题词:
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等离子体 放电 |
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中图分类法:
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O53 版次： 5 |
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中图分类法:
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O461 版次： 5 |
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主要责任者:
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力伯曼 li bo man 著 |
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主要责任者:
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里登伯格 li deng bo ge 著 |
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次要责任者:
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蒲以康 pu yi kang 译 |
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索书号:
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O53/2 |