|
题名:
|
现代高纯气体制取、分析与安全使用 [ 专著] xian dai gao chun qi ti zhi qu 、 fen xi yu an quan shi yong / 尹恩华著 , |
|
ISBN:
|
978-7-03-044967-2 价格： CNY108.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
336页 图 24cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2015 |
|
内容提要:
|
本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度的重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡及清洗等，无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是本书的核心。 |
|
主题词:
|
工业气体 化工生产 |
|
中图分类法:
|
TQ116 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
尹恩华 yin en hua 著 |
|
索书号:
|
TQ116/1 |